반도체 CMP 슬러리 안전성 높여…특허 7건 출원 등 성과

사진 왼쪽 첫번째 한남대 한세미팀 황소희 학생팀장 / 한남대학교 제공
사진 왼쪽 첫번째 한남대 한세미팀 황소희 학생팀장 / 한남대학교 제공

한남대학교 학생들이 지역 기업과 손잡고 수입에 의존하던 반도체 핵심 소재의 국산화에 성공, 정부 주최 경진대회에서 최고상을 받는 쾌거를 이뤘다.

한남대는 14일, 화학과 ‘한세미’팀(지도교수 김운중)이 ㈜엠에스머트리얼즈와 협력해 ‘2025 산학 프로젝트 챌린지’에서 최우수상인 산업통상자원부 장관상을 수상했다고 밝혔다.

‘산학 프로젝트 챌린지’는 대학원생과 산업체 연구원이 팀을 이뤄 산업 현장의 기술적 난제를 해결하는 현장 중심형 교육 프로그램이다. 올해는 전국 530개 팀이 참가해 치열한 경쟁을 벌였으며 단 12팀만이 수상의 영예를 안았다.

한세미팀과 ㈜엠에스머트리얼즈는 기존 반도체 CMP(화학기계적연마) 슬러리의 안전성 문제를 해결하기 위해 신규 분산제 2종을 새롭게 설계, 성능을 대폭 개선하며 국산화에 성공해 높은 평가를 받았다.

이들은 이번 성과를 바탕으로 국내 특허 5건과 해외 특허 2건(미국, 유럽, 일본)을 출원했으며, 국내외 주요 학회에서도 큰 주목을 받았다.

황소희 팀장은 “연구가 산업 현장에 실질적으로 기여하는 과정을 경험하며 큰 보람을 느꼈다”며 “앞으로도 반도체 소재 국산화를 위해 노력할 것”이라고 말했다.

김운중 지도교수는 “학생들이 현장 중심의 연구를 통해 실무 역량을 키우는 좋은 기회였다”며 “경쟁력 있는 반도체 인재 양성에 힘쓰겠다”고 밝혔다.

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